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“中國(guó)芯”再添利器
珠海造高端刻蝕設(shè)備填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白
“中國(guó)芯”再添利器！5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司在珠海高新區(qū)舉行全國(guó)首臺(tái)晶圓級(jí)“等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備”發(fā)布會(huì)。該設(shè)備的成功面世，標(biāo)志著我國(guó)在高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大技術(shù)突破，為芯片制造國(guó)產(chǎn)化替代注入強(qiáng)勁動(dòng)能。
國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)“等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備”，是恒格微電子歷時(shí)三年多技術(shù)攻關(guān)的成果。該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。其核心工藝指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)高端刻蝕設(shè)備空白，將顯著降低晶圓廠對(duì)進(jìn)口設(shè)備的依賴，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全升級(jí)。
發(fā)布會(huì)現(xiàn)場(chǎng)，恒格微電子和電子薄膜與集成器件全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室簽署深度產(chǎn)學(xué)研合作協(xié)議，雙方將圍繞半導(dǎo)體設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)、專業(yè)人才培養(yǎng)等領(lǐng)域開展戰(zhàn)略合作。
恒格微電子還與國(guó)內(nèi)顯示面板龍頭企業(yè)達(dá)成了工藝合作開發(fā)協(xié)議，雙方將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用，加速面板行業(yè)核心裝備國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程。同時(shí)，恒格微電子與三疊紀(jì)公司也達(dá)成了戰(zhàn)略合作。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)表示，等離子多驅(qū)解離技術(shù)是恒格十年磨一劍的成果，目前已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段。公司未來(lái)將持續(xù)加大研發(fā)投入，打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
據(jù)了解，總部位于珠海市高新區(qū)的恒格微電子成立于2005年，深耕等離子技術(shù)領(lǐng)域近二十年，其PCB等離子清洗設(shè)備市場(chǎng)份額穩(wěn)居國(guó)內(nèi)前列。近年來(lái)，恒格微電子瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)，逐步構(gòu)建起覆蓋研發(fā)、制造、服務(wù)的全產(chǎn)業(yè)鏈能力。此次發(fā)布的新品，是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步。
作為珠海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主陣地，目前，珠海高新區(qū)已初步形成“設(shè)計(jì)-制造-封裝-測(cè)試”全產(chǎn)業(yè)鏈體系，半導(dǎo)體與集成電路企業(yè)數(shù)量和經(jīng)濟(jì)規(guī)模位居珠海市首位。
（來(lái)源：珠海特區(qū)報(bào)）
