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基于MEMS技術(shù)在單晶硅材料上制造壓力傳感器芯片

  比利時(shí)BCM傳感器科技有限公司成立于1996年1月,致力于工業(yè)傳感器的設(shè)計(jì)、研發(fā)、小量制造和銷售。

  公司從2016年開(kāi)始采用MEMS技術(shù)在單晶硅材料上制造壓力傳感器芯片(型號(hào)SE201),現(xiàn)已經(jīng)在歐美市場(chǎng)批量銷售。該芯片是一款全橋壓阻效應(yīng)的專門用于測(cè)量微小壓力的傳感器芯片。由于尺寸小,在6英寸晶圓上可以制造6萬(wàn)個(gè)芯片。

  該技術(shù)已大規(guī)模生產(chǎn),外方希望以技術(shù)入股方式尋求合作,希望在中國(guó)落戶。




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